超纯全自动氩气净化系统晟宇公司惰性气体净化装置详细介绍

全自动氩气净化系统惰性气体净化装置氩气纯化方法有二种：

  一种是直接脱氧法，即采用脱氧剂的特征，在它具备活性金属特性时，与氩气中的氧气进行深度反应，吸收掉氩气中的氧气。并利用分子筛吸收水份和二氧化碳，而这种纯化方法，可以脱除氩气中（除氮气外的）的氧、水和二氧化碳，但是这种纯度的氩气也能满足部分的工业生产的需求。（此法适用于工业惰性气体保护气或大范围用气）

  另外一种氩气纯化方法，即采用吸气剂方法，即利用一种合金在外在温度下，对氩气中氧、氢、氮、一氧化碳、甲烷能生成不同的聚合物，使这些杂质组分被吸收掉，从而达到纯化氩气的目的。一般要制取高纯度的氩气就必须采用此种方法。（此法适用于气体公司高纯气体生产充装及实验室分析用气）

   由于一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。一般 O2＜1ppm,水分＜2ppm，这样稳定的氩气对生产晶体质量是有***的。

全自动氩气净化系统惰性气体净化装置作为新材料或其他惰性保护性气体，我们推荐使用直接脱氧法（以纯气中残留氧，水，总碳，粉尘颗粒为考核指标）

本装置优点：

1，设备操作形式全自动程序控制，人性化设置一键式手动再生按钮，可视纯气质量控制再生时间，避免无谓再生，***浪费

2，本设备全新技改，采用内置加热模式，弃舍了原有设备臃肿的外形及大能耗，使其更节能，外形精巧，与同类产品对比，节能50%以上，更具经济性

3，采用新型工艺 采用锰系脱氧剂常温工作，使其成品气质量更优。耗材利用率明显提高，使其更换时间延至8年左右，减少支出，节能减负

4，本装置具有原位再生功能，取微量纯气成品气配以高纯氢气再生，无需任何外接气源或辅助气源

5，设备在出厂前已完成活化工艺，长时间运行无需检修，在电，气，水正常状态下，设备全智能化程序运行，无需值守，

6，智能化：系统运行时间，故障报警，异常报警，运行轨迹等数据采集集成显示于面板触摸屏，气体纯度分析仪嵌入式安装于设备正面，直观，安全，PLC具备485信号源或模拟信号输出，联机可完成远程控制

7，控制阀门选自德国宝德，1000万次的开启寿命，***使用零维护

8，汽化器后设置双回路减压系统，工作压力始终如一，安全稳定

氩气由设备工作进口阀、流量计进入设备工作组，工作组利用高效脱氧剂、分子筛、精密过、滤器对原料氩气中的微量氧、水汽、尘埃、二氧化碳、甲烷、等杂质进行反应、吸附、过滤达到纯化氩气的目的。设备设有两组工作组，一用一备。当一组工作负荷饱和后切换到另一组工作，处理饱和一组的工作组。这样就可以连续的输出纯净的气体供工作点使用。

3，再生简介

设备工作脱氧塔与干燥吸附塔所装耗材不是短暂的消耗品（吸附饱和后程序自动或手动切换再生，可以反复激活再生一千次以上），所以设备工作方式采用复流程，由两组工作组组成。当一组工作组填装料吸附饱和，装填料已经无法对原料氩气进行提纯时，就需要对它进行处理，我们把这个处理的过程称做再生。再生过程是在对工作组加温、吹扫、加氢、冷却、保压的过程，并且是在常压下完成的。由于工作点是不间断的使用高纯氩气，所以在设备再生的时候切换至另一组工作组工作。此过程可以自动或在手动切换

 B、主要技术指标  

1． 处***量                       ≥200Nm3/h                 

2． 工作压力                       ≤0.8Mpa                 

全自动氩气净化系统惰性气体净化装置自动氩气纯化设备概述

A, 本方案按用户提供参数定制：

 1、组成简介

 纯化设备工艺由高效脱氧剂、进口分子筛、精密过滤器、再生冷却器、汽水分离器等组成。

 设备运行由PLC控制电磁阀、气动阀、变送器等低压电器运行。所有电器均选用***，并加有出口低压旁路报警，***供气点无间断工作。

2，工作原理简介

   原料普通

3． 原氩纯度                       ＞99.*** （氧含量≤15ppm）                          

4． 纯化后指标 纯化后符合并高于《GBT4842-2006氩标准》中高纯氩的要求           

                              氧气  ≤0.5ppm                 

                              露点 ≤-76℃  

                              总碳 ≤0.5ppm 

                              尘埃 ≤3.5颗/升  粒径≤0.1μm（100级）

5． 除氧器工作温度                   常温                    

6． 除氧器再生温度                   350℃                   

7． 干燥器工作温度                   常温                    

8． 干燥器再生温度                   350℃                                     

9． 除氧器和干燥器工作周期           据原料气纯度而定                   

10．除氧器和干燥器再生加热时间       8h                       

11．装机功率                         28KW                    

12．电源                             380V 50HZ                     

13．设备重量                         约1200Kg                 

14．外形尺寸：宽×长×高mm          1500×2000×2200