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供应氩气纯化装置氩气纯化机生产厂家

供应氩气纯化装置氩气纯化机生产厂家

晟宇氩气纯化机氩气纯化器高纯氩气主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气,为了提高硅晶体的质量

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  • 高纯气体纯化设备,现场混合配气设备,电子电器现场供气,实验室等保护气氛

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    孔先生
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    经理
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  • 地   址:
    江苏 苏州 吴中区 苏州吴中开发区宝南路89号
加工定制:是品牌:晟宇型号:ya-200c
类别:油烟净化设备适用领域:用于激光器、溅射、真空溅射镀膜机。半导体生产、光谱仪,气相色谱仪、特殊灯泡、稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。规格:1

供应氩气纯化装置氩气纯化机生产厂家详细介绍

 

 晟宇氩气纯化机氩气纯化器高纯氩气主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过本装置对氩气的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求,赢得客户的满意和市场的需求。由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,但使用氩气的客户确不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。一般 O20.2ppm,水分<1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体质量是有***的。氩气纯化装置是针对需要使用***纯度氩气的客户而设计的。广泛应用于在金属保护行业、电子、电光源、科研、气体、分析、医学等领域以及光谱仪、气相色谱仪、科学仪器等等已知或未知的宽广领域

 

晟宇氩气纯化机氩气纯化器装置特点: 

 

1. 催化剂采用了进环保的催化材料。具有吸附深度高,吸收杂质气量大的特点,经催化吸附干燥过滤后使其最终纯度达99.99***以上。100级的气体出口过滤器使其最终纯气颗粒小于0.1μ,确保气体满足高纯气要求,原位再生功能***了气体的品质如一,达到了环保节能的最终目的

 

2. 本装置所有阀门,容器,管路全系不锈钢制作,均采用国内外专业制造企业的名优产品,直接***了设备工作过程中的高真空无渗透及无故障运行***性。

 

3. 精致的控制仪表,电路电器选自高端跨国公司,如西门子,施耐德等。

 

4. 设备所有连接接头均选自知名企业***的VCR接头,***渗漏,安全快捷。

 

5. 人性化的外观设计,使设备外形精巧更美观,操作更方便

 

晟宇氩气纯化机氩气纯化器设备工作原理 

 

设备工作设有两组工作组,填装的净化材料属于可再生重复利用材料。原料液氩经汽化器汽化后由设备工作进口进入设备一组工作组,经脱氧剂、分子筛及精密高效过滤器后送出至工作点使用。一组工作组负荷饱和后,切换到另一组工作组工作,***为使用点连续的提供高纯氩气。同时一组工作组开始再生加热加氢反吹洗(本系统加氢是为了还原脱氧剂,加氢结束后设备自动吹洗并直接放空),为等待下一次切换使用做好准备。装置工作为常温工作,脱氧程度深、碳水含量低,均可达到并高于GB高纯氩气标准。

 

晟宇氩气纯化机氩气纯化器主要技术条件 

 

1、 处***量 ≥2-320Nm3/h 

 

2、工作压力 <0.8Mpa 

 

3、原料氩气纯度 ≥99.*** 

 

4、纯化后 O2 0.2ppm CO+CO20.3ppm CH40.2 ppm H2O1ppm 

 

 

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